蒸氣流真空泵是一種用蒸氣(qi)流體作(zuo)為抽氣(qi)介質來獲得真空的裝(zhuang)置。
蒸(zheng)氣(qi)(qi)(qi)流真空(kong)泵(beng)包(bao)括蒸(zheng)氣(qi)(qi)(qi)噴(pen)射泵(beng)、蒸(zheng)氣(qi)(qi)(qi)增壓泵(beng)和蒸(zheng)氣(qi)(qi)(qi)擴散泵(beng)等。其(qi)抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)(qi)(qi)機理都(dou)是基于高速運動的(de)蒸(zheng)氣(qi)(qi)(qi)流與被抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)(qi)(qi)體混合進行能量交換而實現(xian)抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)(qi)(qi)作(zuo)用的(de)。
在蒸(zheng)氣流(liu)(liu)真空泵內,蒸(zheng)氣由噴(pen)(pen)嘴噴(pen)(pen)射出(chu)的流(liu)(liu)動(dong)狀態可以(yi)是(shi)(shi)湍流(liu)(liu)的，也(ye)可以(yi)是(shi)(shi)粘滯流(liu)(liu)的,究競是(shi)(shi)哪(na)種(zhong)流(liu)(liu)態主要取決于蒸(zheng)氣流(liu)(liu)的壓力和流(liu)(liu)過噴(pen)(pen)嘴的蒸(zheng)氣流(liu)(liu)量(liang)。
蒸氣流噴射泵的作用，是在湍流(紊流)的條件下依靠蒸氣流表面大量的漩渦與被抽氣體相互摻合而卷帶氣體。在此過程中,被抽氣體分子在射流的方向上獲得了由蒸氣分子給予的沖量。除了湍流卷帶氣體之外,還有微弱的粘滯攜帶氣體和擴敢攜帶氣體的作用。根據這種機理設計的真空泵叫蒸氣流噴射泵。
如果由噴(pen)(pen)嘴噴(pen)(pen)射出來(lai)的工作(zuo)(zuo)(zuo)流(liu)體(ti)為粘(zhan)滯(zhi)流(liu)(層(ceng)流(liu))流(liu)動狀(zhuang)態，則工作(zuo)(zuo)(zuo)流(liu)體(ti)依靠其(qi)邊界層(ceng)和 被抽氣(qi)體(ti)層(ceng)之間的粘(zhan)性摩擦而攜帶氣(qi)體(ti)。除此之外，還有一定的擴散攜帶氣(qi)體(ti)的作(zuo)(zuo)(zuo)用。按(an)此 原(yuan)理制(zhi)成(cheng)的泵(beng)稱(cheng)為蒸氣(qi)流(liu)增(zeng)壓(ya)泵(beng)(簡稱(cheng)增(zeng)壓(ya)泵(beng))，這類泵(beng)的工作(zuo)(zuo)(zuo)范圍為10Pa~10_2Pa級。
當被抽氣體的壓力很低時,由噴嘴噴射出的工作流體的密度進一步降低(速度較大),被抽氣體分子擴散進人蒸氣流中而被抽走。由此而設計的泵稱為擴散泵，其工作范圍為10-6Pa.
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