真空泵機組一般由下列元件(jian)構成(cheng)：各種；真空(kong)(kong)(kong)測量裝置(zhi)；真空(kong)(kong)(kong)閥門；真空(kong)(kong)(kong)管(guan)道和一些其它元件(jian)，例如撲集器(qi)、真空(kong)(kong)(kong)接頭、儲氣罐、波紋管(guan)、除塵器(qi)和真空(kong)(kong)(kong)繼電(dian)器(qi)等(deng)。
按機組的工作壓力分，有粗真空泵機組(>1330Pa)；低真空泵機組(1330~0.13Pa)；高真空泵機組(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空泵機組(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；極高真空泵機組(<1.2×10-11 Pa)。
用于較高真空的羅茨真空泵(機械增壓泵)不能直排大氣，如直排大氣會造成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機功率又會造成羅茨真空泵過熱以致羅茨真空泵轉子之間的微小間隙很快因熱膨脹而卡死。為保證羅茨真空泵能達到較高真空必須保證羅茨真空泵轉子之間的間隙。所以羅茨真空泵使用時必須設有前級泵，用前級泵將系統內壓力抽至一定范圍內時再啟動羅茨真空泵，如此可以避免羅茨真空泵過載。前級泵可以選用水(液)環式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復式真空泵等可直排大氣的真空泵。
羅茨真空(kong)泵(beng)機組在一般情(qing)況下(xia)，選用(yong)水環泵(beng)作為前(qian)級泵(beng)比(bi)其它真空(kong)泵(beng)更為有利，這主(zhu)要是(shi)(shi)由于它能(neng)夠抽除大量的可凝性蒸汽，特別是(shi)(shi)當氣鎮油(you)封機械(xie)真空(kong)泵(beng)排除可凝性蒸汽能(neng)力不夠，或(huo)(huo)使用(yong)的溶劑能(neng)使泵(beng)油(you)惡化(hua)而影(ying)響(xiang)性能(neng)，或(huo)(huo)者是(shi)(shi)真空(kong)系統不允(yun)許油(you)污染的時候更為明(ming)顯(xian)。
低真空泵機組的(de)主要特點是(shi)工作(zuo)壓力高(gao)(gao)，排氣(qi)(qi)(qi)量大，但抽速(su)比(bi)高(gao)(gao)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)機組(zu)低(di)。多用于(yu)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)室的(de)粗抽以(yi)及放氣(qi)(qi)(qi)量很大，工作(zuo)壓力較高(gao)(gao)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)輸送、真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)浸漬、真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)過(guo)慮、真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)脫氣(qi)(qi)(qi)、真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)干燥等(deng)裝置中(zhong)。低(di)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)機組(zu)的(de)主泵(beng)(beng)常用往復式真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)、油(you)封(feng)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)、水噴(pen)(pen)(pen)射泵(beng)(beng)、水蒸汽噴(pen)(pen)(pen)射泵(beng)(beng)、水環泵(beng)(beng)、油(you)蒸汽噴(pen)(pen)(pen)射泵(beng)(beng)、分子(zi)篩吸附泵(beng)(beng)和羅茨泵(beng)(beng)等(deng)。使用低(di)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)機組(zu)，還需要根據(ju)被抽氣(qi)(qi)(qi)體的(de)清潔程度(du)、濕度(du)等(deng)工藝要求，配置除(chu)塵器、干燥過(guo)慮器等(deng)元(yuan)件(jian)。例如我(wo)廠生(sheng)產的(de)JZJB,JZJ2B,JZJS等(deng)羅茨水環真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)機組(zu)
高真空泵機組例如JZJX,JZJP型羅茨旋片真(zhen)空泵機(ji)組等。
①選好主泵(beng)(beng)，主泵(beng)(beng)有擴散泵(beng)(beng)、分子泵(beng)(beng)、濺射(she)離子泵(beng)(beng)、鈦泵(beng)(beng)、低(di)溫泵(beng)(beng)等。
②選好預抽泵、儲氣管(防震、縮短工作周期、防止真空室內瞬間大量放氣、穩定擴散泵出口壓力)
超高真空泵機組
主泵極限真空度(du)要高、漏氣(qi)率要低、耐200~450℃烘烤。
①擴散泵機(ji)組：降(jiang)低(di)返(fan)流、控制污染;
②分子泵機組：對氫(qing)壓縮比(bi)小，殘(can)余(yu)氣(qi)體主要(yao)是氫(qing);
③濺射離(li)子泵(beng)機組(zu)：通常與(yu)鈦(tai)泵(beng)聯合使(shi)用(yong);
④低溫泵機組：無污染。
因超高真空(kong)泵機(ji)組(zu)(zu)造(zao)價成本較高，組(zu)(zu)裝構造(zao)構成較嚴格，現逐(zhu)漸(jian)被(bei)羅茨(ci)旋片真空(kong)泵機(ji)組(zu)(zu)所取代。但是(shi)在極其(qi)嚴格的工(gong)作環境要求下還(huan)是(shi)又(you)一定量的需求。
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