低(di)(di)溫(wen)泵(beng)(beng)是利(li)用低(di)(di)溫(wen)表面(mian)冷(leng)凝氣體的，又稱冷(leng)凝泵(beng)(beng)。低(di)(di)溫(wen)泵(beng)(beng)可以獲得抽(chou)氣速率最(zui)大(da)、極限壓(ya)力最(zui)低(di)(di)的清潔真(zhen)空，廣泛應用于(yu)半導體和集成(cheng)電路的研究(jiu)和生產，以及分子(zi)(zi)束研究(jiu)、真(zhen)空鍍膜設備、真(zhen)空表面(mian)分析儀器、離子(zi)(zi)注入機(ji)和空間模擬裝置等方面(mian)。
按(an)照低溫介質(zhi)的供給方式，低溫泵分為三種類型：
小型制冷機低溫泵
閉循環(huan)小(xiao)型(xing)制(zhi)(zhi)冷機(ji)低(di)溫(wen)泵(beng)是(shi)(shi)由低(di)溫(wen)泵(beng)體、抽氣低(di)溫(wen)板、輻(fu)射屏蔽板、制(zhi)(zhi)冷機(ji)和(he)壓縮(suo)機(ji)等部分組成。和(he)流程低(di)溫(wen)泵(beng)的(de)最大區別是(shi)(shi)制(zhi)(zhi)冷機(ji)一、二(er)級(ji)冷頭直接和(he)輻(fu)射屏、冷板相連(lian)，在(zai)制(zhi)(zhi)冷機(ji)與壓縮(suo)機(ji)連(lian)接管路(lu)中流動的(de)是(shi)(shi)常溫(wen)、高(gao)(或低(di))壓氣體介質，不存(cun)在(zai)低(di)溫(wen)介質的(de)輸送問題，兼有(you)流程低(di)溫(wen)泵(beng)和(he)貯槽式低(di)溫(wen)泵(beng)的(de)優(you)點，是(shi)(shi)目前比較理想的(de)清潔(jie)超高(gao)真空泵(beng)。廣泛用于薄膜制(zhi)(zhi)備、微電子(zi)學技術、高(gao)能物理、小(xiao)型(xing)環(huan)模(mo)設備以及其(qi)它各工業領域。
貯槽式低溫泵
低溫(wen)(wen)介質(液氦)直接注(zhu)入泵(beng)(beng)內貯(zhu)槽(cao)，使氣體冷(leng)凝達到抽氣目(mu)的(de)。其優點是泵(beng)(beng)的(de)體積小、無振動、無噪聲、操(cao)作(zuo)簡便，適用于(yu)大(da)專院校及科研單(dan)位和高(gao)能加(jia)速器(qi)等大(da)型真空(kong)工程。缺(que)點是運轉費用高(gao)，每次(ci)加(jia)注(zhu)低溫(wen)(wen)介質的(de)使用時間短，需長期連(lian)續運轉的(de)真空(kong)系(xi)統要定期補充工作(zuo)介質，并且受到低溫(wen)(wen)介質供應(ying)條件的(de)限制。
流程低溫泵
泵(beng)(beng)中低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)板(ban)(ban)冷(leng)(leng)卻管和制冷(leng)(leng)膨脹機相聯接(jie)，低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)介質(氣氦)通過外管路(lu)供給低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)泵(beng)(beng)，吸(xi)收低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)板(ban)(ban)熱量(liang)后(hou)再(zai)回到制冷(leng)(leng)壓縮機，形成封閉循環，這種低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)泵(beng)(beng)的體積龐大、管路(lu)復雜、管路(lu)冷(leng)(leng)損較(jiao)大。優點是制冷(leng)(leng)功率(lv)大，最適(shi)宜抽除大氣量(liang)或(huo)大型(xing)真空(kong)室(shi)，廣泛用于空(kong)間環模設備、受控熱核(he)反(fan)應(ying)裝置、火箭(jian)發動機高空(kong)點火試驗以及低(di)(di)(di)(di)壓空(kong)氣動力學(xue)試驗等。
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